Puslaidininkinius slėgio jutiklius galima suskirstyti į dvi kategorijas, viena iš jų grindžiama principu, kad puslaidininkių PN sandūros (arba Šotkio jungties) I-υ charakteristikos keičiasi veikiant įtempiams. Šio slėgiui jautraus elemento veikimas yra labai nestabilus ir nebuvo labai išplėtotas. Kitas yra jutiklis, pagrįstas puslaidininkio pjezorezistiniu efektu, kuris yra pagrindinė puslaidininkinių slėgio jutiklių įvairovė. Pirmosiomis dienomis puslaidininkiniai deformacijų matuokliai dažniausiai buvo tvirtinami prie elastinių elementų, kad būtų pagaminti įvairūs įtempių ir deformacijų matavimo prietaisai. 1960-aisiais, tobulėjant puslaidininkių integrinių grandynų technologijai, atsirado puslaidininkinis slėgio jutiklis su difuziniu rezistoriumi kaip pjezorezistiniu elementu. Šio tipo slėgio jutiklis yra paprastos ir patikimos struktūros, nėra santykinių judančių dalių, o slėgiui jautrus elementas ir elastinis jutiklio elementas yra integruoti, todėl išvengiama mechaninio atsilikimo ir šliaužimo bei pagerinamas jutiklio veikimas.

Puslaidininkio pjezorezistinis efektas Puslaidininkis turi charakteristiką, susijusią su išorine jėga, tai yra, varža (pavaizduota simboliu ρ) kinta priklausomai nuo patiriamo įtempio, kuris vadinamas pjezorezistiniu efektu. Santykinis varžos pokytis veikiant vienetiniam įtempiui vadinamas pjezorezistiniu koeficientu, kuris išreiškiamas simboliu π. Išreiškiama matematiškai kaip ρ/ρ = π σ.

Kur σ reiškia įtampą. Atsparumo vertės (R/R) pokytį, kurį sukelia puslaidininkių varža veikiant įtempiams, daugiausia lemia savitosios varžos pokytis, todėl pjezorezistinio efekto išraišką taip pat galima užrašyti kaip R/R=πσ.

Veikiant išorinei jėgai, puslaidininkių kristaluose susidaro tam tikras įtempis (σ) ir deformacija (ε), o ryšį tarp jų lemia medžiagos Youngo modulis (Y), tai yra Y=σ/ε.

Jei pjezorezistinis efektas išreiškiamas puslaidininkio deformacija, tai R/R=Gε.

G vadinamas slėgio jutiklio jautrumo koeficientu, kuris parodo santykinį pasipriešinimo vertės pokytį veikiant vienetiniam įtempimui.

Pjezorezistinis koeficientas arba jautrumo koeficientas yra pagrindinis fizinis puslaidininkinio pjezorezistinio efekto parametras. Santykį tarp jų, kaip ir tarp įtempių ir deformacijų, lemia medžiagos Youngo modulis, ty g = π y.

Dėl puslaidininkinių kristalų anizotropijos elastingumo atžvilgiu Youngo modulis ir pjezorezistinis koeficientas keičiasi kristalų orientacijai. Puslaidininkio pjezorezistinio efekto dydis taip pat glaudžiai susijęs su puslaidininkio varža. Kuo mažesnė varža, tuo mažesnis jautrumo koeficientas. Difuzinio pasipriešinimo pjezorezistinis poveikis nustatomas pagal kristalų orientaciją ir difuzinio pasipriešinimo priemaišų koncentraciją. Priemaišų koncentracija daugiausia reiškia difuzinio sluoksnio paviršiaus priemaišų koncentraciją.