Puslaidininkių slėgio jutikliai gali būti suskirstyti į dvi kategorijas, viena yra pagrįsta principu, kad puslaidininkio PN jungties (arba Schottky jungties) I-υ charakteristikos dėl streso. Šio slėgio jautrus elementas yra labai nestabilus ir nebuvo labai išplėtotas. Kitas yra jutiklis, pagrįstas puslaidininkiniu pjezorezijos efektu, kuris yra pagrindinė puslaidininkio slėgio jutiklio įvairovė. Ankstyvomis dienomis puslaidininkių deformacijos matuokliai dažniausiai buvo pritvirtinti prie elastinių elementų, kad būtų įvairių įtempių ir deformacijų matavimo prietaisų. Septintajame dešimtmetyje, sukuriant puslaidininkių integruotos grandinės technologiją, pasirodė puslaidininkių slėgio jutiklis su difuzijos rezistoriumi kaip pjezorezinis elementas. Tokio tipo slėgio jutiklis turi paprastą ir patikimą struktūrą, nėra santykinai judančių dalių, o slėgio jautrus jutiklio elementas ir elastinis elementas yra integruoti, o tai išvengia mechaninio atsilikimo ir šliaužimo bei pagerina jutiklio veikimą.

Puslaidininko puslaidininkio pjezorezinis poveikis turi charakteristiką, susijusią su išorine jėga, tai yra, varža (vaizduojama simboliu ρ) keičiasi su stresu, kurį jis patiria, kuris vadinamas pjezoreistiniu efektu. Santykinis atsparumo pokytis veikiant vieneto įtempiui yra vadinamas pjezorezistiniu koeficientu, kurį išreiškia simbolis π. Išreiškė matematiškai kaip ρ/ρ = π σ.

Kur σ žymi stresą. Atsparumo vertės (R/R) pasikeitimą, kurį sukelia puslaidininkių atsparumas įtempiui, daugiausia lemia atsparumo pasikeitimas, todėl pjezoreistinio efekto ekspresija taip pat gali būti parašyta kaip r/r = πσ.

Veikiant išorinei jėgai, tam tikras įtempis (σ) ir deformacija (ε) susidaro puslaidininkių kristaluose, o ryšį tarp jų lemia medžiagos Youngo modulis (y), tai yra, y = σ/ε.

Jei pjezoreistinį efektą išreiškia puslaidininkio kamienas, tai yra r/r = gε.

G yra vadinamas slėgio jutiklio jautrumo koeficientu, kuris parodo santykinį pasipriešinimo vertės pasikeitimą esant vieneto deformacijai.

Piezorezistinis koeficientas arba jautrumo koeficientas yra pagrindinis puslaidininkinio pjezoreistinio efekto fizinis parametras. Ryšį tarp jų, kaip ir santykis tarp streso ir įtempimo, lemia Youngo medžiagos modulis, tai yra, g = π y.

Dėl puslaidininkinių kristalų anizotropijos elastingumo, Youngo modulio ir pjezorezistinio koeficiento pokyčių su kristalų orientacija. Puslaidininkinio pjezoreistinio efekto dydis taip pat yra glaudžiai susijęs su puslaidininkio atsparumu. Kuo mažesnis atsparumas, tuo mažesnis jautrumo koeficientas. Pjezorezistinį atsparumo difuzijos poveikiui lemia kristalų orientacija ir difuzijos atsparumo priemaišų koncentracija. Priemaišų koncentracija daugiausia reiškia difuzijos sluoksnio paviršiaus priemaišų koncentraciją.