Variklio slėgio jutiklis 2CP3-68 1946725 Carter ekskavatoriui

1. Slėgio jutiklio paruošimo būdas, pasižymintis šiais etapais:

S1, suteikiantis plokštelę su galiniu paviršiumi ir priekiniu paviršiumi; Pjezorezistinės juostelės ir stipriai legiruoto kontaktinio ploto formavimas plokštelės priekiniame paviršiuje; Slėgio giluminės ertmės formavimas išgraviruojant galinį plokštelės paviršių;

S2, atraminio lakšto klijavimas plokštelės gale;

S3, gaminantis švino skylutes ir metalinius laidus priekinėje plokštelės pusėje ir jungiančias pjezorezines juostas, kad būtų suformuotas Vitstono tiltas;

S4, nusodinant ir formuojant pasyvavimo sluoksnį ant priekinio plokštelės paviršiaus ir atidarant pasyvavimo sluoksnio dalį, kad būtų suformuota metalinė padėklo sritis. 2. Slėgio jutiklio gamybos būdas pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad S1 konkrečiai apima šiuos etapus: S11: plokštelės su galiniu paviršiumi ir priekiniu paviršiumi sukūrimas ir slėgiui jautrios plėvelės storio nustatymas ant plokštelės; S12: jonų implantacija naudojama priekiniame plokštelės paviršiuje, pjezorezistinės juostelės gaminamos aukštos temperatūros difuzijos būdu, o kontaktinės sritys yra stipriai legiruotos; S13: apsauginio sluoksnio nusodinimas ir formavimas ant priekinio plokštelės paviršiaus; S14: ėsdinimas ir slėginės gilios ertmės formavimas plokštelės gale, kad susidarytų slėgiui jautri plėvelė. 3. Slėgio jutiklio gamybos būdas pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad plokštelė yra SOI.

1962 m. Tufte ir kt. pirmą kartą pagamino pjezorezistinį slėgio jutiklį su išsklaidytomis silicio pjezorezistinėmis juostomis ir silicio plėvelės struktūra bei pradėjo pjezorezistinio slėgio jutiklio tyrimus. Septintojo dešimtmečio pabaigoje ir aštuntojo dešimtmečio pradžioje pasirodžius trims technologijoms, būtent, silicio anizotropinio ėsdinimo technologijai, jonų implantavimo technologijai ir anodinio sujungimo technologijai, įvyko dideli slėgio jutiklio pokyčiai, kurie atliko svarbų vaidmenį gerinant slėgio jutiklio veikimą. . Nuo devintojo dešimtmečio, toliau tobulėjant mikroapdirbimo technologijoms, tokioms kaip anizotropinis ėsdinimas, litografija, difuzinis dopingas, jonų implantavimas, surišimas ir dengimas, slėgio jutiklio dydis buvo nuolat mažinamas, jautrumas buvo pagerintas, o našumas yra didelis ir pasirodymas puikus. Tuo pačiu metu naujos mikroapdirbimo technologijos kūrimas ir taikymas leidžia tiksliai valdyti slėgio jutiklio plėvelės storį.