Variklio slėgio jutiklis 2CP3-68 1946725-karterio ekskavatoriui

Slėgio jutiklio paruošimo metodas, kurį apibūdina šie veiksmai:

S1, suteikia vaflį užpakaliniu paviršiumi ir priekiniu paviršiumi; Suformuoti pjezoreistinę juostelę ir smarkiai apnuogintą kontaktinę plotą ant priekinio vaflio paviršiaus; Sudarant slėgio gilią ertmę, išgraviruotą vaflio galinį paviršių;

S2, sujungdamas atraminį lapą ant vaflio galo;

S3, švino skylės ir metaliniai laidai priekinėje plokštelės pusėje ir jungiančios pjezorezistines juosteles, kad sudarytų Wheatstone tiltą;

S4, pasyvavimo sluoksnio nusodinimas ir formavimas ant priekinio vaflinio paviršiaus ir atidaro pasyvaus sluoksnio dalį, kad susidarytų metalinės padėklo plotas. 2. Slėgio jutiklio gamybos metodas pagal 1 punktą, kuriame S1 specifiškai apima šiuos veiksmus: S11: Vaflio pateikimas su galiniu paviršiumi ir priekiniu paviršiumi ir apibrėžiant slėgio jautrios plėvelės storį ant vaflio; S12: jonų implantacija naudojama priekiniame vaflio paviršiuje, pjezorezinės juostelės gaminamos pagal aukštos temperatūros difuzijos procesą, o kontaktiniai regionai yra labai nustatyti; S13: Apsauginio sluoksnio nusodinimas ir formavimas ant priekinio vaflio paviršiaus; S14: Slėgio gilios ertmės ėsdinimas ir formavimas vaflio gale, kad susidarytų jautri slėgiui jautriai plėvelę. 3. Slėgio jutiklio gamybos metodas pagal 1 punktą, kuriame vaflis yra SOI.

1962 m. Tufte ir kt. Pirmą kartą pagamino pjezorezistinio slėgio jutiklį su difuzinėmis silicio pjezorezistinėmis juostelėmis ir silicio plėvelės struktūra ir pradėjo pjezorezinio slėgio jutiklio tyrimus. Septintojo dešimtmečio pabaigoje ir aštuntojo dešimtmečio pradžioje atsirado trijų technologijų, būtent silicio anizotropinio ėsdinimo technologijos, jonų implantacijos technologijos ir anodinių ryšių technologijos, atsirado dideli slėgio jutiklio pakeitimai, kurie vaidino svarbų vaidmenį gerinant slėgio jutiklio našumą. Nuo devintojo dešimtmečio, toliau plėtojant mikrominavimo technologijas, tokias kaip anizotropinis ėsdinimas, litografija, difuzijos dopingas, jonų implantacija, surišimas ir danga, slėgio jutiklio dydis nuolat buvo mažesnis, jautrumas pagerinamas, o išėjimas yra didelis, o našumas yra puikus. Tuo pat metu naujos mikrominavimo technologijos kūrimas ir pritaikymas leidžia tiksliai valdyti slėgio jutiklio plėvelės storis.