Taikoma „Passat Fuel“ bendrojo geležinkelio slėgio jutiklio 06E906051K

1. Slėgio jutiklio formavimo metodas, kurį sudaro:

Puslaidininkinio substrato, kuriame pirmasis tarpsluoksnio dielektrinis sluoksnis, pirmasis tarpsluoksnio dielektrinis sluoksnis ir antrasis tarpsluoksnio dielektrinis sluoksnis yra suformuotas ant puslaidininkio substrato.

Apatinė elektrodo plokštė pirmame tarpsluoksnio dielektriniame sluoksnyje, pirmasis abipusis elektrodas, esantis tame pačiame sluoksnyje kaip ir apatinė elektrodo plokštė ir išdėstyta atskirai.

Jungiamieji sluoksniai;

Suformuoti aukos sluoksnį virš apatinės poliarinės plokštės;

Suformuoti viršutinę elektrodo plokštelę ant pirmojo tarpsluoksnio dielektrinio sluoksnio, pirmojo sujungimo sluoksnio ir aukos sluoksnio;

Suformavus aukos sluoksnį ir prieš formuodami viršutinę plokštelę, pirmame sujungimo sluoksnyje

Suformuoti jungties griovelį ir užpildyti jungties griovelį su viršutine plokštele, kad būtų elektra sujungti su pirmuoju sujungimo sluoksniu; Ar

Suformavus viršutinę elektrodo plokštelę, viršutinėje elektrodo plokštelėje ir pirmajame sujungimo sluoksnyje suformuojami jungiamieji grioveliai, kurie

Suformuodamas laidų sluoksnį, jungiantį viršutinę elektrodo plokštelę ir pirmąjį sujungimo sluoksnį jungties griovelyje;

Elektriniu būdu sujungiant viršutinę plokštelę ir pirmąjį sujungimo sluoksnį, pašalinus aukos sluoksnį, kad susidarytų ertmė.

2. Slėgio jutiklio formavimo metodas pagal 1 punktą, kuriame pirmame sluoksnyje

Tarpsluoksnio dielektrinio sluoksnio paaukojimo sluoksnio formavimo metodas apima šiuos veiksmus:

Aukojimo medžiagos sluoksnio nusodinimas ant pirmojo tarpsluoksnio dielektrinio sluoksnio;

Aukos medžiagos sluoksnio modeliavimas, kad būtų suformuotas aukos sluoksnis.

3. Slėgio jutiklio formavimo metodas pagal 2 punktą, kuriame naudojamas fotolitografija ir graviravimas.

Aukojimo medžiagos sluoksnis yra rašomas oforto proceso metu.

4. Slėgio jutiklio formavimo metodas pagal 3 punktą, kuriame aukojamasis sluoksnis

Medžiaga yra amorfinė anglies arba germanio.

5. Slėgio jutiklio formavimo metodas pagal 4 punktą, kuriame aukojamasis sluoksnis

Medžiaga yra amorfinė anglis;

Aukojimo medžiagų sluoksnio išgraviruotos dujų ėsdinimas yra O2, CO, N2 ir AR;

Aukos medžiagos sluoksnio išgraviruoti parametrai: O2 srauto diapazonas yra 18 SCCM ~ 22 SCCM, o CO srauto greitis yra 10%.

Srauto greitis svyruoja nuo 90 SCCM iki 110 SCCM, N2 srauto greitis svyruoja nuo 90 SCCM iki 110 SCCM ir AR srauto greitis.

Diapazonas yra 90 SCCM ~ 110 SCCM, slėgio diapazonas yra 90 mTOR ~ 110 mTOR, o šališkos galios yra

540W ～ 660W。