Taikoma „Passat“ kuro bendrojo bėgio slėgio jutikliui 06E906051K

1. Slėgio jutiklio formavimo būdas, kurį sudaro:

Puslaidininkinio pagrindo sudarymas, kur pirmasis tarpsluoksnis dielektrinis sluoksnis, pirmasis tarpsluoksnis dielektrinis sluoksnis ir antrasis tarpsluoksnis dielektrinis sluoksnis yra suformuoti ant puslaidininkio pagrindo.

Apatinė elektrodo plokštė pirmame tarpsluoksniame dielektriniame sluoksnyje, pirmasis abipusis elektrodas, esantis tame pačiame sluoksnyje kaip ir apatinė elektrodo plokštė, ir atskirti vienas nuo kito.

Jungiamieji sluoksniai;

Aukojimo sluoksnio formavimas virš apatinės poliarinės plokštės;

Viršutinės elektrodo plokštės formavimas ant pirmojo tarpsluoksnio dielektrinio sluoksnio, pirmojo sujungimo sluoksnio ir aukojamojo sluoksnio;

Suformavus aukojamąjį sluoksnį ir prieš suformuojant viršutinę plokštę, pirmame sujungimo sluoksnyje

Sujungimo griovelio formavimas ir sujungimo griovelio užpildymas viršutine plokšte, kad elektriškai sujungtų su pirmuoju sujungimo sluoksniu; arba

Suformavus viršutinę elektrodo plokštę, viršutinėje elektrodo plokštelėje ir pirmame sujungimo sluoksnyje susidaro jungiamieji grioveliai, kurie

Viršutinę elektrodo plokštę ir pirmąjį sujungimo sluoksnį sujungimo griovelyje jungiančio laidžiojo sluoksnio formavimas;

Elektriškai sujungus viršutinę plokštę ir pirmąjį sujungimo sluoksnį, pašalinus aukos sluoksnį, kad susidarytų ertmė.

2. Slėgio jutiklio formavimo būdas pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad pirmajame sluoksnyje

Aukos sluoksnio formavimo ant tarpsluoksnio dielektrinio sluoksnio metodas apima šiuos veiksmus:

Aukos medžiagos sluoksnio nusodinimas ant pirmojo tarpsluoksnio dielektrinio sluoksnio;

Aukos medžiagos sluoksnio rašymas, kad susidarytų aukos sluoksnis.

3. Slėgio jutiklio formavimo būdas pagal 2 punktą, besiskiriantis tuo, kad naudojama fotolitografija ir graviravimas.

Aukos medžiagos sluoksnis raštuotas ėsdinimo būdu.

4. Slėgio jutiklio formavimo būdas pagal 3 punktą, besiskiriantis tuo, kad aukų sluoksnis

Medžiaga yra amorfinė anglis arba germanis.

5. Slėgio jutiklio formavimo būdas pagal 4 punktą, besiskiriantis tuo, kad yra naudojamas aukų sluoksnis

Medžiaga yra amorfinė anglis;

Aukos medžiagos sluoksnio ėsdinimo procese naudojamos ėsdinimo dujos yra O2, CO, N2 ir Ar;

Aukos medžiagos sluoksnio ėsdinimo proceso parametrai yra šie: O2 srauto diapazonas yra 18 SCCM ~ 22 SCCM, o CO srautas yra 10%.

Srauto greitis svyruoja nuo 90 SCCM iki 110 SCCM, N2 srautas svyruoja nuo 90 SCCM iki 110 SCCM, o Ar srautas.

Diapazonas yra 90 SCCM ~ 110 SCCM, slėgio diapazonas yra 90 mtor ~ 110 mtor, o poslinkio galia yra

540w–660w.