Ekskavatoriaus slėgio jutiklis yra plačiausiai naudojamas jutiklis, tai bendras terminas aptikti dujas, skystas, kietas ir kitas medžiagas tarp indukcinės jėgos energijos, taip pat apima
Manometrai, matuojantys oro slėgį aukščiau, ir vakuuminiai matuokliai, matuojantys oro slėgį žemiau. Yra daugybė jėgos jutiklių rūšių, tradicinis matavimo metodas yra elastinių elementų deformacijos ir poslinkio taikymas, siekiant išreikšti elektrinio įpurškimo variklio priežiūrą, tačiau jo tūris yra didelis, gremėzdiškas, o išėjimas yra netiesinis. Augant mikroelektronikos įgūdžiams, taikant puslaidininkinių medžiagų pjezorezistinį efektą ir didesnį elastingumą, tobulėjant puslaidininkių jėgos jutikliams, svarbiems silicio pjezorezistiniams ir talpiniams du, jie turi mažo dydžio, lengvo svorio, didelio jautrumo pranašumus, yra plačiai naudojami puslaidininkių jėgoje. jutikliai. Kai puslaidininkis yra įtemptas aukštyn ant kristalo, jo varža pasikeis. Ryšys tarp laidininko varžos pokyčio ir įtempių vadinamas puslaidininkio pjezorezistiniu efektu, o iš šio efekto pagamintas mechaninis kiekio jutiklis vadinamas pjezorezistiniu jėgos jutikliu, kuris yra dviejų tipų, vienas yra jutiklis, pagamintas iš puslaidininkio deformacijos matuoklio, įklijuoto ant elastinis elementas, vadinamas įklijuotu pjezorezistiniu jutikliu. Kitas yra difuzijos varža, pagaminta naudojant integruotos grandinės technologiją ant puslaidininkinės medžiagos pagrindo, kad įtempio matuoklis ir silicio substratas sudarytų tą patį jutiklį, vadinamą difuzijos pjezorezistiniu jutikliu. Jis pasižymi didelio jautrumo, didelio tikslumo, mažo dydžio, lengvo svorio, didelio darbo dažnio, paprastos konstrukcijos, patikimo darbo ir ilgo tarnavimo laiko savybėmis.