Pjezoreistinio jutiklio struktūra

Šiame jutiklyje rezistoriaus juostelė yra integruota ant monokristalinės silicio diafragmos integracijos procese, kad būtų pagamintas silicio pjezorezinis lustas, o šios lusto periferija yra pritvirtinta prie apvalkalo, o elektrodų laidai išleidžiami. Pjezorezinis slėgio jutiklis, dar žinomas kaip kietojo kūno slėgio jutiklis, skiriasi nuo lipnaus deformacijos matuoklio, kuris turi pajusti išorinę jėgą netiesiogiai per elastinius jautrius elementus, tačiau tiesiogiai jaučia išmatuotą slėgį per silicio diafragmą.

Viena silicio diafragmos pusė yra aukšto slėgio ertmė, bendraujanti su išmatuotu slėgiu, o kita pusė yra žemo slėgio ertmė, bendraujanti su atmosfera. Paprastai silicio diafragma yra suprojektuota kaip apskritimas su fiksuota periferija, o skersmens ir storio santykis yra apie 20 ~ 60. Keturios P ​​priemaišų atsparumo juostelės yra skleidžiamos vietoje apskrito silicio diafragmos ir sujungtos į pilną tiltą, iš kurių dvi yra centrinio įtempio zonoje, o kitos - dviem.

Be to, taip pat yra kvadratinės silicio diafragmos ir silicio kolonėlės jutiklio. Silicio cilindrinis jutiklis taip pat yra pagamintas iš varžinių juostelių difuzija tam tikra silicio cilindro kristalinės plokštumos kryptimi, o dvi tempimo įtempio varžos ir dvi gniuždomosios įtempio atsparios juostelės sudaro pilną tiltą.

Pjezorezinis jutiklis yra prietaisas, pagamintas iš difuzijos atsparumo puslaidininkinės medžiagos substrate pagal puslaidininkinės medžiagos pjezorezistinį poveikį. Jo substratas gali būti tiesiogiai naudojamas kaip matavimo jutiklis, o difuzijos varža yra sujungta substrate tilto pavidalu.

Kai substratas deformuotas išorinės jėgos, pasipriešinimo vertės pasikeis ir tiltas sukels atitinkamą nesubalansuotą išėjimą. Substratai (arba diafragmos), naudojami kaip pjezoreziniai jutikliai, daugiausia yra silicio vafliai ir germanio vafliai. Silicio pjezoreistiniai jutikliai, pagaminti iš silicio plokštelių, nes jautrios medžiagos sulaukė vis daugiau dėmesio, ypač naudojami kietojo kūno pjezoreistiniai jutikliai, skirti matuoti slėgį ir greitį.