Tinka Hitachi KM11 alyvos slėgio jutikliui EX200-2-3-5

Keturios slėgio jutiklio slėgio technologijos

1. Talpinis

talpiniai slėgio jutikliai dažniausiai yra mėgstami daugelyje OEM profesionalių programų. Aptikdami talpos pokyčius tarp dviejų paviršių, šie jutikliai gali pajusti ypač žemą slėgio ir vakuumo lygį. Mūsų tipinėje jutiklio konfigūracijoje kompaktiškas korpusas susideda iš dviejų glaudžiai išdėstytų, lygiagrečių ir elektra izoliuotų metalinių paviršių, iš kurių vienas iš esmės yra diafragma, kuri veikiant slėgiui gali šiek tiek susilenkti. Šie tvirtai pritvirtinti paviršiai (arba plokštės) sumontuoti taip, kad agregato lenkimas pakeistų tarpą tarp jų (iš tikrųjų susidaro kintamas kondensatorius). Gautą pokytį aptinka jautri linijinė lyginamoji grandinė su (arba ASIC), kuri sustiprina ir išveda proporcingą aukšto lygio signalą.

2.CVD tipas

Cheminio garų nusodinimo (arba "CVD") gamybos metodas sujungia polisilicio sluoksnį su nerūdijančio plieno diafragma molekuliniu lygiu, taip sukuriant jutiklį, pasižymintį puikiu ilgalaikiu dreifu. Įprasti paketinio apdorojimo puslaidininkių gamybos metodai naudojami kuriant polisilicio deformacijos matuoklio tiltelius, pasižyminčius puikiu našumu už labai priimtiną kainą. CVD struktūra pasižymi puikiomis sąnaudomis ir yra populiariausias jutiklis OEM programose.

3. Purškiančios plėvelės tipas

Purškimo plėvelės nusodinimas (arba "plėvelė") gali sukurti jutiklį su maksimaliu kombinuotu tiesiškumu, histereze ir pakartojamumu. Tikslumas gali siekti net 0,08 % visos skalės, o ilgalaikis dreifas kasmet siekia 0,06 % visos skalės. Neįprastas pagrindinių prietaisų veikimas – mūsų purškiamas plonasluoksnis jutiklis yra slėgio jutiklių pramonės lobis.

4.MMS tipas

Šie jutikliai naudoja mikroapdirbto silicio (MMS) diafragmą, kad aptiktų slėgio pokyčius. Silicio diafragma yra atskirta nuo terpės alyva užpildytu 316SS ir nuosekliai reaguoja su proceso skysčio slėgiu. MMS jutiklis naudoja bendrą puslaidininkių gamybos technologiją, kuri gali pasiekti aukštą atsparumą įtampai, gerą tiesiškumą, puikų šiluminio šoko veikimą ir stabilumą kompaktiškame jutiklių pakete.