Tinka „Hitachi KM11“ alyvos slėgio jutikliui EX200-2-3-5

Keturios slėgio slėgio jutiklio technologijos

1. Talpa

Talpinius slėgio jutiklius paprastai teikia pirmenybė daugybei OEM profesionalių programų. Aptikę talpos pokyčius tarp dviejų paviršių, šie jutikliai gali pajusti ypač žemą slėgį ir vakuuminį lygį. Mūsų tipinėje jutiklio konfigūracijoje kompaktišką korpusą sudaro du glaudžiai išdėstyti, lygiagreti ir elektriškai izoliuoti metaliniai paviršiai, iš kurių vienas iš esmės yra diafragma, kuri gali šiek tiek pasilenkti esant slėgiui. Šie tvirtai fiksuoti paviršiai (arba plokštės) yra sumontuoti taip, kad mazgo lenkimas pakeis tarp jų tarpą (iš tikrųjų sudaro kintamą kondensatorių). Gautas pokytis nustatomas jautrioje linijinėje palyginamojoje grandinėje su (arba ASIC), kuri sustiprina ir išveda proporcingą aukšto lygio signalą.

2.CVD tipas

Cheminis garų nusėdimas (arba „CVD“) Gamybos metodo jungčių polisilicono sluoksnis iki nerūdijančio plieno diafragmos molekuliniame lygyje, taip sukuriant jutiklį, pasižymintį puikiu ilgalaikiu dreifo veikimu. Polisilicon deformacijos matuoklio tiltų, kurių našumas už labai priimtiną kainą, sukūrimui yra naudojami bendrų partijų apdorojimo puslaidininkių gamybos metodai. CVD struktūra pasižymi puikiomis sąnaudomis ir yra populiariausias OEM programų jutiklis.

3. Dulkinimo filmo tipas

Dulkinimo plėvelės nusėdimas (arba „plėvelė“) gali sukurti jutiklį, turintį maksimalų kombinuotą tiesiškumą, histerezę ir pakartojamumą. Tikslumas gali būti net 0,08% visos skalės, o ilgalaikis dreifas-net 0,06% visos skalės kiekvienais metais. Nepaprastas pagrindinių instrumentų atlikimas-mūsų purškiami ploni plėvelės jutikliai yra lobis slėgio jutimo pramonėje.

4.mms tipas

Šie jutikliai naudoja mikro modifikuotą silicio (MMS) diafragmą, kad nustatytų slėgio pokyčius. Silicio diafragma iš terpės išskiria iš alyvos užpildyto 316SS ir jie reaguoja nuosekliai su proceso skysčio slėgiu. MMS jutiklis priima bendrą puslaidininkių gamybos technologiją, kuri gali pasiekti didelę įtampos atsparumą, gerą tiesiškumą, puikų šiluminio smūgio našumą ir stabilumą kompaktiškame jutiklio pakete.